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最少采樣點數目可參照下表:最少采樣點數目參照表

面積㎡

潔凈度級別

100

10000

100000

300000

＜10

2~3

2

2

2

≥10~＜20

4

2

2

2

≥20~＜40

8

2

2

2

≥40~＜100

16

4

2

2

≥100~＜200

40

10

3

3

≥200~＜400

80

20

6

6

≥400~＜1000

160

40

13

13

≥100~＜2000

400

100

32

32

≥2000

800

200

63

63

注：對于100級的單向流潔凈室（區(qū)），包括100級潔凈工作臺，面積指的是送風口表面積；對于10000級以上的非單向流潔凈室（區(qū)），面積指的是房間面積